MEMS丙酮氣體傳感器是精訊暢通為了方便家用檢測丙酮氣體濃度而研發的丙酮傳感器。MEMS丙酮氣體傳感器的價格低,靈敏度高。傳感器采用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,并采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料??砂巡煌δ?、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體,形成微傳感器陣列、微執行器陣列。
檢測氣體:丙酮
丙酮測量范圍:0-10000ppm
丙酮測量靈敏度S:RO/RS≥2
丙酮濃度斜率a:≤0.9
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8士0.1V AVorDC
負載電阻RL:可調
加熱電阻RH:80?土20?(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體電阻Rs:1K?~30K?
溫度:20°C士2°C
濕度:55%RH土5%RH