MEMS丙烷氣體傳感器是精訊暢通為了利用MEMS工藝來檢測丙烷氣體濃度而研發的丙烷傳感器。MEMS丙烷氣體傳感器采用MEMS工藝制作SI基襯底上的制熱版,采用金屬氧化物半導體材料來作為傳感器的氣敏材料。該氣體傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短等特點,表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。
檢測氣體:丙烷
丙烷測量范圍:0-10000ppm
丙烷測量靈敏度S:RO/RS≥2
丙烷濃度斜率a:≤0.9
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8士0.1V AVorDC
負載電阻RL:可調
加熱電阻RH:80?土20?(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體電阻Rs:1K?~30K?
溫度:20°C士2°C
濕度:55%RH土5%RH