MEMS氟利昂氣體傳感器是精訊暢通利用MEMS工藝而打造的氟利昂傳感器。MEMS氟利昂氣體傳感器具有MEMS工藝的微熱板,采用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當檢測環境中有氟利昂氣體存在時,MEMS氟利昂傳感器的電導率也會發生變化。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與氟利昂濃度相對應的輸出信號。
檢測氣體:氟利昂
氟利昂測量范圍:10-1000ppm
氟利昂測量靈敏度S:RO/RS≥2
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8V士0.1V AVorDC
負載電阻RL:可調
加熱電阻RH:80?土20?(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體電阻Rs:1K?~30K?
濃度斜率a:≤0.9
溫度:20°C士2°C
濕度:55%RH土5%RH
標準測試電路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V